Silicon Wafer Lapping에 사용되는 산화알루미늄의 종류

시장에는 다양한 분야에서 사용되는 많은 종류의 산화알루미늄이 있습니다.

실리콘 웨이퍼 래핑의 경우 일반적으로 판상 백색 소성 알루미늄 산화물을 사용하며 사양은 다음과 같습니다.

평균 화학 성분(일반)             

Al2O3 _> 99.0                                                  % _{_}

SiO2 _<                                                   0.2%

Fe2O3 <0.1%

Na2O _< 1%

물리적 특성( TYPIC A L)  

모스 경도 9.0

비중 >3.9g/cm ³

모양 판 모양

입자 크기 분포